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safematic 低真空镀膜仪

safematic 低真空镀膜仪

CCU-010 镀膜机提供两种款型。CCU- 010 LV低真空镀膜机,CCU- 010 HV 高真空镀膜机。采用模块化概念,便于以后把低真空镀膜机转变为高真空镀膜机。

智能设备

不论您想要进行溅射金属、碳蒸发还是等离子处理,您需更换工作头,就能完成各种应用。

没有不必要的停工期

设备基本上即开即用。通过把高质量的材料和部件与思路相结合,缩短了工艺时间。采用自动模式,实现了稳定、均匀的薄层镀膜。

紧凑实用

尺寸小巧,节省了宝贵的空间。重量已经减至低。由于镀膜机统一使用标准化的真空接口,还能与第三方设备配套使用。

启用简单,服务方便

拆开包装,连接线路,直接启用!省去了高昂的启用成本。设备采用即插即用概念,您自己就能启用。您需接通电源和工艺气体即可。

凭借一体式USB服务接口,服务技工可以在现场或者通过互联网远程进行快速错误分析。采用模块化配置,可以有指向性地更换有缺陷的部件。


亮点和特性:

·  一台设备完成溅射、碳蒸发和等离子处理(亲水/疏水)等多项工作。

·  使用直径54毫米、厚度多3毫米的靶材,可以快速、方便地更换。

·  长寿命靶材

·  采用磁控溅射工作头,实现了细颗粒溅射,适用于高分辨率FESEM应用领域。

·  可以进行氧化铟锡(ITO)溅射和碳溅射。

·  玻璃工作腔Φ120毫米(DIN 100 ISO-KF兼容),带内爆防护和监控。

·  自动靶材挡板

·  以电子方式调节工作真空度,带皮拉尼(Pirani)和冷阴真空测量系统

·  自动阀门控制,用于控制两种工作气体和排气

·  靶材冷却,带温度监测

·  高度可调、可倾斜的圆形样品台(Φ80毫米)。样品台不需使用工具即可取下,便于清洗(喷砂处理)。

·  速度受控的旋转式或旋转行星式样品台,有多种样品支托选配件

·  采用双石英测量系统进行膜层厚度测量(小样品在中xin测量,大样品在边缘测量)

·  整体式MD 1 Vario-SP隔膜泵(HV款型)

·  整体式Hi Pace 80涡轮泵(HV款型)

·  宽范围电源(90VAC - 260VAC))

·  5.7英寸TFT触摸式图形显示屏

·  直观易懂的用户软件,具备很多有用的功能

·  便于创建镀膜工序,结果的再现性

·  可以存储/查看近十次操作

·  采用基于Windows的软件Coating LAB(镀膜实验室)对工艺数据进行图形化展示。

·  具备在断电情况下自动排气的功能。此功能可以防止系统受到前级泵油(LV款型)的污染。

·  USB接口,便于进行工艺分析和软件更新

·  统一接口,用于连接不同的工作头

·  工作头自动识别

·  6毫米乐克利(Legris)接口,用于连接两种工作气体和排气

·  法兰接口(DN 25 ISO-KF),用于连接外部前级泵(LV款型)

·  可以用作单纯的泵送装置

·  尺寸小,重量轻

·  瑞士品质


产品详情

产品介绍:CCU-010是一种紧凑型全自动高真空离子溅射仪,同时可以通过更换靶头作为高真空碳镀膜机进行使用,使用非常简单。由于*的插件概念,该设备很容易配置溅射或蒸发,只需更换工艺头。涂层前后可进行等离子处理。模块化设计使得避免金属和碳沉积之间的交叉污染变得容易。CCU-010有一个静态样品台,包括高度调节和倾斜。它可以安装一个可选的变速旋转阶段或旋转行星阶段,每个选择持有不同的样本和存根类型。在所有样品阶段,膜厚监测都作为标准。

CCU-010涂层设备有两种型号。CCU-010LV精细真空基座专为SEM和EDX的常规高质量溅射和碳镀膜而设计,而CCU-010HV高真空系统涵盖了最高级的SEM,TEM和薄膜应用。模块化的设计使以后可以轻松地将其从低真空单元转换为高真空单元。与材料,表面和轮廓有关的彻底设计可大大缩短加工时间。两个附加的标准真空法兰允许连接第三方设备。